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二次離子質譜儀

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1 二次離子質譜儀 -二次離子質譜儀 :

  這是用來檢測材料的一種儀器,即是利用離子束把待分析的材料從表面濺射出來,然後再檢測出離子組分並進行質量分析。
  它是對微粒進行同位素分析的有力工具,但它不能直接分辨同量異位數和確認元素,也難以高效率地在環境樣品中尋找特定成分的微粒。

2 二次離子質譜儀 -二次離子質譜:

  Secondary-ion-mass spectroscopeSIMS),是利用質譜法分析初級離子入射靶面后,濺射產生的二次離子而獲取材料表面信息的一種方法。二次離子質譜可以分析包括氫在內的全部元素,並能給出同位素的信息、分析化合物組分和分子結構。二次離子質譜具有很高的靈敏度,可達到ppm甚至ppb的量級,還可以進行微區成分成像和深度剖面分析。
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