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低溫等離子體化學及其應用

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1 低溫等離子體化學及其應用 -基本信息

  低溫等離子體化學及其應用

  作者: 陳傑瑢定價: ¥ 45.00 元

  出版社: 科學出版社 出版日期: 2001年09月

  ISBN: 7-03-008225-7/O.1195 開本: 16 開

  類別: 綜合化學化工,無機化學化工,有機化學化工,精細化工 頁數: 293 頁

2 低溫等離子體化學及其應用 -簡介

  本書共十章。從化學科學的角度對非平衡態等離子體——低溫等離子體的基本概念、等離子體的診斷方法、等離子體化學反應的機理、基本反應過程、動力學模型的建立方法、等離子體聚合反應、等離子體引發聚合反應。等離子體表面處理的基本規律及其應用、氧等離子體化學及應用、已實用化的等離子體CVD技術作了系統的論述和介紹,並提供了涉及多領域的儘可能多的應用信息。

3 低溫等離子體化學及其應用 -目錄

  第一章等離子體化學基礎

  第一節等離子體空間的化學現象

  一、等離子體

  二、等離子體的生成與特性

  三、低溫等離子體

  第二節等離子體放電系統及反應裝置

  一、等離子體放電系統

  二、等離子體反應裝置

  第三節等離子體化學的歷史和發展

  第四節等離子體化學的應用領域和前景

  一、等離子體化學的應用領域

  二、等離子體化學的應用前景

  參考文獻

  第二章等離子體狀態與等離子體化學反應

  第一節等離子體的診斷方法及其狀態

  一、等離子體的診斷方法

  一、等離子體狀態

  三、幾種氣體的等離子體狀態

  第二節等離子體中生成物的鑒定與定量

  一、發光分光分析法

  二、光吸收分光分析法

  三、激光分光法

  四、質量分析法

  第三節原子、分子過程與等離子體參數

  一、電子束法測定碰撞截面積

  二、電泳法測定速度常數

  三、等離子體參數的測定

  第四節等離子體化學反應

  一、等離子體有機化學反應

  二、等離子體無機化學反應

  三、等離子體化學的特性與放射化學

  第五節氣一固相等離子體化學反應

  一、等離子體與固體的反應類型

  二、等離子體一固體表面的相互作用

  三、等離子體與固體反應的實例

  參考文獻

  第三章等離子體聚合

  第一節概述

  一、等離子體聚合的歷史

  二、等離子體聚合的特徵

  三、等離子體聚合的操作條件

  四、等離子體聚合控制方法的改進

  第二節等離子體聚合裝置

  一、等離子體聚合裝置設計基礎

  二、等離子體聚合裝置

  第三節等離子體聚合反應機理

  一、氣相空間聚合理論與固體表面聚合理論

  二、離子聚合理論與自由基聚合理論

  三、CAP機理與原子聚合觀點

  第四節等離子體聚會的基本過程

  一、苯乙烯等離子體聚合的基本過程

  二、乙烯、乙炔等離子體聚合的基本過程

  三、甲烷等離子體聚合的基本過程

  四、單體結構與聚合基本過程的關係

  參考文獻

  第四章等離子體聚合動力學

  第一節等離子體聚合速度

  一、等離子體聚合速度的影響因素

  二、等離子體聚合速度的測定

  第二節有機化合物的等離子體聚合行為

  一、飽和烴

  二、不飽和烴

  三、氟代烴

  四、乙烯基單體

  五、有機金屬化合物

  第三節等離子體聚合的動力學模型

  一、活性基團密度模型

  二、L-B-S(Lam-Baddour-Stancell)模型

  參考文獻

  第五章等離子體聚合物的結構與性質

  第一節等離子體聚合物的形態與聚合條件

  一、等離子體聚合物的物質狀態與聚合條件

  二、等離子體聚合物的表面形態與聚合條件

  第二節等離子體聚合物的結構特徵及其解析方法

  一、等離子體聚合物的結構特徵

  二、等離子體聚合物結構的解析方法

  第三節等離子體聚合物的結構與性質分析

  一、等離子體聚合碳氫化合物的結構與性質分析

  二、氟代烴等離子體聚合物的表面元素分析

  三、等離子體聚會膜的介電鬆弛分析

  四、苯乙烯等離子體聚合膜的性質分析

  參考文獻

  第六章等離子體聚合物的應用

  第一節分離膜的應用

  一、反滲透膜的應用

  二、氣體分離膜的應用

  三、液體分離膜的應用

  四、其他分離膜的應用

  第二節表面保護膜的應用

  一、金屬保護膜的應用

  二、表面硬化膜的應用

  三、耐磨損性膜的應用

  第三節光學材料的應用

  一、光透射性及其應用

  二、光IC元件的應用

  三、核聚變用燃料微球的應用

  第四節醫用材料的應用

  一、生體適應性材料的應用

  二、藥劑緩釋的應用

  三、防止增塑劑溶出的應用

  第五節電子材料的應用

  一、絕緣體的應用

  二、半導性與功能元件的應用

  三、等離子體聚合膜的導電性

  四、精細加工抗蝕劑膜的應用

  五、光記錄材料的應用

  六、等離子體聚會無機化合物薄膜的應用

  參考文獻

  第七章等離子體引發聚會

  第一節等離子體引發聚合的原理與方法

  一、等離子體引發聚合的原理

  二、等離子體引發聚合的方法

  第二節乙烯基單體的等離子體引發聚合

  一、丙烯酸系單體的聚合·共聚·乳化聚合

  二、等離子體引發水溶液聚合與本體共聚物的合成

  三、高吸水性高吸附性樹脂

  四、等離子體引發嵌段共聚物的合成

  五、疏水性膜的等離子體引發接技聚合

  六、等離子體引發聚合的酶固定化方法

  七、等離子體引發接技聚合對纖維的改性

  第三節等離子體還原反應與聚合機理

  第四節環醚的固相開環聚合

  第五節無機環狀化合物的開環聚合

  一、膦嗪化合物的開環聚合

  二、有機硅化合物的開環聚合

  參考文獻

  第八章等離子體表面處理

  第一節概述

  一、等離子體表面處理的特徵

  二、等離子體表面處理裝置

  三、等離子體表面處理條件

  第二節等離子體表面處理活性化層的生成

  一、表面層自由基的生成與光能的作用

  二、表面自由能的變化及潤濕性與黏接性

  三、表面引人特定官能團

  四、表面交聯層的形成

  五、蝕刻及粗化面的形成

  六、等離子體炬表面處理

  第三節電暈放電錶面處理

  一、概述

  二、電暈放電對高聚物表面的作用

  三、電暈放電錶面處理的應用及存在的問題

  第四節等離子體表面處理的應用

  一、印刷、塗層、部接加工的應用

  二、表面保護膜的應用

  三、表面接枝改性的應用

  四、醫用材料的應用

  五、電子顯微鏡的應用

  六、在纖維、紡織品加工中的應用

  參考文獻

  第九章氧等離子體化學及應用

  第一節氧等離子體化學概述

  一、原子態氧的生成機理

  二、等離子體氧化反應

  第二節氧等離子體的應用

  一、氧等離子體在分析化學中的應用

  二、用氧等離子體保存無機物質的精細結構

  三、氧等離子體在電子工業中的應用

  參考文獻

  第十章等離子體CVD技術

  第一節等離子體CVD膜

  第二節P-SiN膜的基本特性

  一、生成參數與膜特性

  二、電學性質

  三、膜的組成

  四、膜中的氫

  第三節P-PSG、P-Sic的基本膜特性

  一、生成參數與膜特性

  二、電學性能

  三、膜的組成

  第四節等離子體CVD技術的發展動向

  參考文獻

  附錄

  1.壓力單位換算表

  2.氫、氧及氮分子的離解常數K,與離解度χ

  3.元素及化合物的電離能

  4.原子的亞穩態能級

  5.彭寧(Penning)離子化速度常數kM與碰撞截面積σM(300K)

  6.各種等離子體反應中Gibbs自由能的變化ΔG與溫度的相關性

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