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也稱過氧硫酸,過一硫酸
化學式:H2SO5(也可寫成SO3·H2O2)
當H2SO4與H2O2混合,生成過氧單硫酸(H2SO5)。H2SO5通常被稱為卡羅酸,可以同H2O2反應得到OH●和HSO4●反應基。這些基團可以與光刻膠中的碳高分子鏈反應,最終生成CO和CO2 。採用現有的piranha流程,為了使反應充分進行並得到合適的去膠速率,需要將溶液加熱到150℃。不幸的是,灰化時離子轟擊光刻膠造成了去氫的非晶碳層,該層與OH●和HSO4●反應基之間的反應很弱。
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