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四探針法通常用來測量半導體的電阻率。四探針法測量電阻率有個非常大的優點,它不需要較准;有時用其它方法測量電阻率時還用四探針法較准。

  四探針法通常用來測量半導體的電阻率。四探針法測量電阻率有個非常大的優點,它不需要較准;有時用其它方法測量電阻率時還用四探針法較准。


  與四探針法相比,傳統的二探針法更方便些,因為它只需要操作兩個探針,但是處理二探針法得到的數據卻很複雜。如圖一,電阻兩端有兩個探針接觸,每個接觸點既測量電阻兩端的電流值,也測量了電阻兩端的電壓值。我們希望確定所測量的電阻器的電阻值,總電阻值:


  RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT;


  其中RW是導線電阻,RC是接觸電阻,RDUT是所要測量的電阻器的電阻,顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點接觸法,即四探針法。如圖二,電流的路徑與圖一中相同,但是測量電壓使用的是另外兩個接觸點。儘管電壓計測量的電壓也包含了導線電壓和接觸電壓,但由於電壓計的內阻很大,通過電壓計的電流非常小,因此,導線電壓與接觸電壓可以忽略不計,測量的電壓值基本上等於電阻器兩端的電壓值。


  
四探針法
圖二.四探針法

通過採用四探針法取代二探針法,儘管電流所走的路徑是一樣的,但由於消除掉了寄生壓降,使得測量變得精確了。四探針法在Lord kelvin使用之後,變得十分普及,命名為四探針法。

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