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凡採用所謂平面工藝來製作的晶體管,都稱為平面晶體管。

  凡採用所謂平面工藝來製作的晶體管,都稱為平面晶體管。現在所使用的Si-BJT幾乎都是平面晶體管。相對於檯面晶體管而言,這種晶體管的晶元表面基本上是平坦的(實際上存在不少台階),故有「平面」之稱。


  平面晶體管的基區一般都是採用雜質擴散技術來製作的,故其中雜質濃度的分佈不均勻(表面高,內部低),將產生漂移電場,對注入到基區的少數載流子有加速運動的良好作用。所以平面晶體管通常也是所謂漂移晶體管。這種晶體管的性能大大優於均勻基區晶體管。


  Si平面晶體管的一個重要優點就是其表面都容易通過熱氧化而覆蓋一層氧化層來保護著,使得器件的穩定性、可靠性極其優越。現在的集成電路幾乎都是採用Si平面晶體管來構成的。

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