微機電系統基本上是指尺寸在幾厘 米以下乃至更小的小型裝置,是一個獨立的智能系統,主要由感測順、作動器(執行器)和微能源三大部分組成。 微機電系統涉及物理學、化學、光學、醫學、電子工程、材料工程、機械工程、信息工程及生物工程等多種學 科和工程技術。微機電系統的製造工藝主要有集成電路工藝、微米/納米製造工藝、小機械工藝和其他特種加 工工種。微機電系統在國民經濟和軍事系統方面將有著廣泛的應用前景。主要民用領域是醫學、電子和航空航 天系統。美國已研製成功用於汽車防撞和節油的微機電系統加速度表和感測器,可提高汽車的安全性,節油10% 。僅此一項美國國防部系統每年就可節約幾十億美元的汽油費。微機電系統在航空航天系統的應用可大大節省 費用,提高系統的靈活性,並將導致航空航天系統的變革。例如,一種微型慣性測量裝置的樣機,尺度為2厘米× 2厘米×0.5厘米,重5克。在軍事應用方面,美國國防部高級研究計劃局正在進行把微機電系統應用於個人導航 用的小型慣性測量裝置、大容量數據存儲器件、小型分析儀器、醫用感測器、光纖網路開關、環境與安全監測 用的分散式無人值守感測等方面的研究。該局已演示以微機電系統為基礎製造的加速度表,它能承受火炮發射 時產生的近10.5個重力加速度的衝擊力,可以為非制導彈藥提供一種經濟的制導系統。設想中的微機電系統的軍事應用還有:化學戰劑報警器、敵我識別裝置、靈巧蒙皮、分散式戰場感測器網路等。

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