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磁性薄膜材料

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1 磁性薄膜材料 -磁性薄膜材料



magnetic thin film material

厚度在1微米以下的強磁性(鐵磁性和亞鐵磁性)材料。簡稱磁膜材料。使用時需附於弱磁性材料的基片上。磁膜材料的磁特性取決於其製備方法和工藝條件。其製備方法主要有:①真空蒸發法。即在真空狀態下將加熱蒸發的磁性材料沉積在基片上。②電沉積法。即將磁性材料和基片做成陽極和陰極,在電解液中通過電化學作用,磁性陽極材料沉積到陰極基片上。③濺射法。即將磁性陽極材料和基片分別作為陰極和陽極,在抽真空后又充入惰性氣體電離成離子並高速轟擊陰極,使陰極表面濺射出的原子附著於陽極基片上。此外,還有外延生長法、化學鍍膜法等。

各種磁性材料幾乎都可製成成分和厚度可以控制的磁膜材料。一般按材料性質分為金屬和非金屬磁膜材料;按材料組織狀態分為非晶、多層調製和微晶磁膜材料。磁膜材料廣泛用於製造計算機存儲,光通信中的磁光調製器、光隔離器和光環行器等;也用作磁記錄薄膜介質和薄膜磁頭,以及磁光記錄盤等。
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