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1 鐵磁性薄膜 -鐵磁性薄膜

鐵磁性薄膜特徵

磁性薄膜的物理氣相沉積方法,其特徵在於,包括如下步驟:1)選擇基底材料,選擇錳金屬和銻金屬為源;2)將基底材料和錳、銻源材料送入生長爐;3)抽真空,控制錳源和銻源的溫度和生長時間;4)退火;5)完成薄膜的製備工藝。

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