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用精細陶瓷材料製成的感測器。

1 陶瓷感測器 -陶瓷感測器

 

2 陶瓷感測器 -正文

  用精細陶瓷材料製成的感測器。這種陶瓷材料包括氧化物、碳化物、氮化物、硫化物以及它們的複合化合物的多晶燒結體、厚膜和薄膜。陶瓷感測器能檢測氣體、離子、熱、光、聲、位置和電磁場等。其中氣敏、濕敏、熱敏方面的感測器多用半導體氧化物陶瓷材料製成,聲敏、力敏、加速度和紅外敏感方面的感測器多用鐵電壓電陶瓷材料。有的用一種材料完成多種敏感功能,有的將幾種陶瓷材料組合一起製成多功能組合式陶瓷感測器。通過化學氣相沉積、物理氣相沉積或其他工藝技術能製成高靈敏度的薄膜,與其他材料相互組合成為陶瓷功能薄膜感測器,還可以同半導體集成電路複合實現信息檢測一體化。陶瓷感測器發展非常迅速。

 

3 陶瓷感測器 -配圖

 

4 陶瓷感測器 -相關連接

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