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  馬志波,男,1978年2月生,碩士、在職博士,西北工業大學機電學院工程師。主要研究方向及內容:主要從事微/納製造工藝,微納複合製造以及納米圖形化方法研究,微光學和微壓力感測器製造工藝研究等。

  發表論文

  1) Zhibo Ma, Chengyu Jiang, Weizheng Yuan. A triple-layer protection process for high-aspect-ratio silicon micronachining by DRIE OF SOI substrates. J. Micromech. Microeng. 2012, 22 055028 (SCI).

  2) Zhibo Ma, Sen Ren, Dayong Qiao, Weizheng Yuan,Fabrication of a Novel Resonant Pressure Sensor Based on SOI Wafer. 2nd Integration & Commercialization of Micro & Nanosystems International Conference & Exhibition. Clear Water Bay, Kowloon, Hong Kong, June 3-5, 2008.

  3)馬志波,姜澄宇,任森,苑偉政.基於SOI的硅微諧振式壓力感測器晶元製作. 2012, 25(2), 180-183.

  4)馬志波,喬大勇,虞益挺,苑偉政,姜澄宇,一種新型CCD圖像採集系統設計.感測技術學報, 2006, 19(4): 1250-1252.

  5)馬志波,喬大勇,苑偉政,姜澄宇,MEMS微結構粘附問題研究.航空精密製造技術. 2006, 42(6): 9-11.

  申請發明專利

  1)高占空比自支撐納米透射光柵及其製作方法馬志波,姜澄宇,苑偉政。

  2)一種納米結構的圖形轉移製作方法馬志波,姜澄宇,苑偉政。

  3)一種高懸浮空間MEMS可動器件的製作方法。苑偉政,馬志波,喬大勇,任森,呂湘連。

  4)微型縱向驅動器苑偉政,喬大勇,馬志波,呂湘連。

  5)一種微型平板靜電驅動器及其製作方法苑偉政,喬大勇,虞益挺,馬志波。
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